Представительства:Ростов-на-дону

8(8635) 210-400

Заказать звонок

Воздухоразделительные установки (ВРУ)

Кислородные установки, Азотные установки, Установки для одновременного производства кислорода и азота

Воздухоразделительные установки (ВРУ)

Кислородные криогенные установки

Турбодетандерные агрегаты, теплообменники, вихревые насосы, компрессоры, испарители, влагоотделители

Кислородные криогенные установки

Насосы сжиженных газов

Поршневые комплекты, клапана, комплекты прокладок, уплотнители, турбодетандеры

Насосы сжиженных газов

Криогенные вакуумные насосы

Криогенные насосы используют обычно трёх видов, турбомолекулярный насос, маслянный диффузионный насос и крионасос, обычно один из этих трёх типов насосов используют когда необходимо создать разряжение в пределах от   10-3 до 10-10 Торр.

В эксплуатации из всех перечисленных видов насосов самым простым и удобным является крионасос, так как он обеспечивает наиболее быструю откачку не загрязняя откачиваемый объём. Стоит так же отметить, что трудности возникающие в связи прямой зависимости давления паров от температуры при использовании крионасосов решаются достаточно просто. Всё дело в том, что крионасосы вместо того чтобы перемещать молекулы газа просто их замораживают.  Благодаря этому у криогенных насосов напрочь отсутствуют жидкие среды либо какие нибудь подвижные части, которые имеют свойство контактировать с вакуумом из откачиваемого объёма, поэтому в процессе откачки полностью исключается вероятность какого-либо загрязнения. 

Индиевая пайка которая обычно применяется при криплении криопанелей в насосах позволяет откачивать так же и агрессивные газы к которым относятся HCI и CI2. Все детали крионасосов которые контактируют с откачиваемыми газами  в обязательном порядке покрыты стойким медно-никелевым сплавом, однако бывают случаи когда необходимо исполнение с повышенной химической стойкостью, в таком случае покрытие может быть нанесено из тефлона. Одним из основных преимуществ криогенных насосов по сравнению с другими насосами является то, что они при гораздо меньших габаритах способны развивать наибольшую скорость откачки.

Так же, стоит обратить внимание ещё на одно преимущество криогенных откачных систем, дело в том, что крионасос в большинстве случаев свободно может монтироваться на рабочий объём, это намного упрощает работу особенно в таких процессах как металлизация. Именно эта особенность даёт возможность достигать более высокие скорости откачки по азоту, водороду, кислороду и многими другими загрязняющими газами, что в свою очередь значительно улучшает качество покрытия.

Чистота откачки криогенных насосов

Из всех существующих высоковакуумных насосов, крионасосы являются самыми "чистоплотными". Всё дело в том, что в крионасосах отсутствуют какие-либо жидкости и подвижные части, а так же прочие рабочие элементы которые способны загрязнять откачиваемый объём, именно эти качества полностью исключают попадания каких либо загрязнений в вакууммируемый объем во время откачки.

При давлении, превышающим давление запуска, в форвакуумном насосе предварительного разряжения сохраняется вязкостное течение откачиваемого газа, которое удерживает пары масла внутри насоса предварительного разряжения. Таким образом, крионасосы не только обеспечивают сверхчистый вакуум, но также избавляют пользователя от трудоемкой очистки рабочего объема от паров масла, попадающих во время предварительной откачки.

Принцип работы криогенного насоса

Независимо от того, какой насос Вы будете использовать, принцип создания вакуума останется одинаковым и неизменным. Создание вакуума осуществляется за счёт удаления газа из герметично закрытого рабочего объёма, одна молекула за другой. Обычные способы откачки имеют свойство продавливать молекулы через насос, криогенные же насосы вымораживают газы до затвердевшего состояния, тем самым уменьшая давление паров, пока не создастся самый что ни на есть высокий вакуум. Гелий, который под давлением поступает на головку поршня расширяется и охлаждает решётки. Внешний ряд решеток охлаждается до 80К и используется для конденсации паров воды, которые обычно являются основной газовой нагрузкой. Внутренний ряд конденсационных решеток охлаждается до температуры 15К и предназначен для основной части оставшихся газов. Все конденсирующиеся газы переходят в твердое состояние с давлением паров менее 10-12 Торр. Неконденсируемые газы, такие как гелий, водород и неон одновременно адсорбируется слоем из капсулированного активированного (древесного) угля, охлажденного до 15 К.

Экономичность крионасосов

Стоимость криогенных вакуумных насосов находится где то посредине стоимости торбонасосов и диффузионных насосов которые обладают схожими откачными характеристиками, однако у криогенных насосов в отличии от своих собратьев стоимость технического обслуживания в процессе эксплуатации на порядок ниже, таким образом, несмотря на цену, в конечном итоге, использование крионасоса расчитанного на длительную эксплуатацию будет более выгодным. Диффузионный маслянный насос на первый взгляд может составить по своей цене и характеристикам альтернатувную конкурентоспособность крионасосу, но это только на первый взгляд, дело в том, что диффузионному насосу для достижения высокой производительности потребуются регулировки уровней, азотные ловушки, дьюары и многое другое дополнительное оборудование, а это значит что к к стоимости откачной диффузионной системы можно смело прибавить дополнительные тысячи долларов. Кроме того, эксплуатационные расходы на электричество и жидкий азот в конечном счёте сделают диффузионную откачную систему значительно дороже криогенной.

Таким образом, крионасосы являются оптимальным решением с точки зрения создания не загрязняющей рабочий объем откачной системы с минимальной стоимостью и максимальной производительностью.

Все публикации